Вакуумний насос - це

пристрій для видалення газів і парів з замкнутого обсягу з метою отримання вакууму. В. н. діляться на проточні, к-які видаляють газ з відкачуваного об'єму назовні, і сорбційні, що зв'язують газ всередині насоса. Існують також спец. імплантаційні, паладієві і каталитич. В. н. для відкачування водню. Осн. параметри В. н. 1) граничне залишковий тиск зростання; 2) швидкість відкачування S - обсяг газу, що відсмоктується в од. часу при потужність. впускному тиску

Мал. 1. Області дії разл. типів вакуумних насосів: 1 - водокільцевих; 2 - поршневих; 3 - паро-масляних бустерних; 4 - механічних бустерних; 5 - дифузійних; 6 - сорбційних.

3) продуктивність Q - кількість газу (крім пари робочої рідини), що видаляється В. н. в од. часу при певному pвп (Q = Sрвп); 4) найбільший тиск запуску рзап, при к-ром В. н. може почати працювати; 5) найбільше випускний тиск pмакс, при к-ром В. н. ще може здійснювати відкачку. В. н. бувають Форвакуумні (для створення в системі низького і середнього вакууму при рзап = 760 мм рт. ст.) і Високовакуумні, що створюють високий і надвисокий вакуум. іноді між ними ставлять проміжний (бустерний) В. н. (Рис. 1).

За принципом дії проточні В. н. підрозділяються на механічні, струменеві (ежекторні і парострумінні), молекулярні (турбомолекулярні) і іонні. Механічні В. н.- Форвакуумні, вони засновані на всмоктуванні відкачуваного газу при периодич. збільшенні обсягу робочої камери і виштовхуванні газу на вихід при зменшенні цього обсягу і стисненні газу до тисків, достатніх для відкривання випускних клапанів.

Мал. 2. Поршневий насос: V0 - відкачуваний об'єм; П - поршень.

Мал. 3. Обертальний водокільцевий насос.

Механічний. В. н. бувають поршневі (рис. 2) і обертальні. У обертальних водокільцевих В. н. (Рис. 3) вода відцентровою силою притискається до стінок корпусу, утворюючи водяне кільце 7 і робочу камеру 2 (вільну від води). Газ відкачується в результаті зміни обсягу робочої камери між лопатками ротора. Ці насоси можуть відкачувати суміш газу з парами води, запилені гази, кисень і ін. Вибухонебезпечні гази.

Мал. 4. многопластінчатой ​​насос.

Багатопластинчаті В. н. (Рис. 4) також містять ексцентрично розташований ротор. в прорізи догрого вставлені пластини, що притискаються відцентровою силою до внутр. поверхні корпусу. При цьому утворюються робочі осередки із змінним обсягом. У найбільш поширених вращат. В. н. (Рис. 5) - насосах Геде, внутр. обсяг заповнений маслом, до-рої служить мастилом і перешкоджає натекания повітря в область низького тиску за рахунок утворення плівки між обертовими і нерухомими частинами. Конденсація або розчинення газів і парів в маслі погіршує параметри В. н. Це запобігає напуском в робочу камеру В. н. (Після відокремлення її від впускного отвору) атм. повітря в такому кол-ве, щоб до моменту вихлопу Парцій. тиск парів не досягало тиску насичення.

Мал. 5. Обертальні масляні насоси: а - пластинчато-роторний; б - пластинчато-статорних; в - плунжерний; 1 - статор; 2 - ротор; 3 - розділова пластина; 4 - пружина; 5 - випускний клапан; 6 - важіль; 7 - плунжер; 8 - золотник.

Мал. 6. Двороторний насос (насос Рутса).

Дія двохроторннім В. н. (Насоса Рутса) засновано на зустрічному обертанні двох роторів (рис. 6) (передуватиме. Розрідження 5-1 мм рт. Ст.).

У струменевих В. 10-6 мм рт. ст. швидкість випаровування Ti недостатня для забезпечення його надлишку на поверхні поглинання, і 5 різко падає; рзап = 10-4 мм рт. ст.

У магніторазрядних В. н. робочим елементом явл. газорозрядна осередок - осередок Пеннінга, що складається з «пористого» анода (рис. 11), розташованого між катодними пластинами, покритими Ti. Осередок поміщена в магн. поле В = 900-3000 Гс, перпендикулярний площині катодів. При подачі на електроди високої напруги (від 3 до 7 кВ) між ними спалахує розряд, ел-ни рухаються по складних спіралям, що збільшує ймовірність іонізації в високому вакуумі (= 10-12-10-14 мм рт. Ст.). Прискорені електричні. полем іони бомбардують катоди, викликаючи катодного розпилення; при цьому частина іонів впроваджується в катоди, а частина - нейтралізується і, володіючи достатньою енергією, відбивається від поверхні катода, потрапляє на анод і «замурується» розпиляним матеріалом катодів. Активні гази відкачуються сорбційними і іонним способами, інертні - іонним, причому частина їх «замурується» на аноді. Величина розрядного струму в цих насосах пропорц. тиску, S залежить від числа осередків (кожну клітинку можна рас розглядати як самостійно. насос з S від 0,25 до 1 л / с).

Основні параметри вакуумних НАСОСІВ

Дія кріогенних (конденсаційних) В. н. засноване на конденсації і адсорбції парів і газів на поверхнях, що охолоджуються до низьких темп-р, коли тиск насичений. парів відкачуваного в-ва нижче тиску, до-рої необхідно створити в відкачувати обсязі. Криогенний В. н, складається з: кріопанелі; захисного екрана, що охолоджується до темп-р, проміжних між температурою кріопанелі і стінки корпусу, і службовця для зниження теплових навантажень на кріопанель від теплового випромінювання стінок корпусу насоса; системи охолодження. Для відкачування газів, неконденсованих в насосі, застосовують допоміжний пароструминний насос з пасткою або сорбційно-іонний насос.

Дивитися що таке "ВАКУУМНИЙ НАСОС" в інших словниках:

ВАКУУМНИЙ НАСОС - ВАКУУМНИЙ НАСОС, пристрій для відкачування повітря із замкнутого простору. При цьому створюється частковий ВАКУУМ. У найпростішому вакуумному насосі вода або пар надходять в камеру, витісняючи повітря, і таким чином створюється частковий вакуум. ... ... Науково-технічний енциклопедичний словник

ВАКУУМНИЙ НАСОС - служить для видалення (відкачування) газів або парів з замкнутого обсягу (системи) з метою отримання в ньому вакууму. Основні типи вакуумних насосів: механічні, струменеві, сорбційні, криогенні ... Великий Енциклопедичний словник

вакуумний насос - Пристрій, призначений для створення, підвищення і підтримки вакууму. [ГОСТ 5197 85] Тематики вакуумна техніка EN vacuum pump DE Vakuumpumpe FR pompe à vide ... Довідник технічного перекладача

ВАКУУМНИЙ НАСОС - пристрій, призначений для створення, підвищення і підтримки вакууму. Розрізняють В. н. Форвакуумні, бустерні, Високовакуумні, сверхвисоковакуумних. Основні характеристики В. н. граничне залишковий тиск (Па) і швидкість дії ... ... Велика політехнічна енциклопедія

вакуумний насос - пристрій, призначений для видалення (відкачування) газів або парів з замкнутого обсягу (системи) з метою отримання в ньому вакууму. Основні характеристики вакуумних насосів: граничний тиск (залишкове тиск або граничний вакуум); ... ... Енциклопедія техніки

вакуумний насос - [vacuum pump] апарат для видалення (відкачування) газів або парів з замкнутого обсягу (системи) з метою отримання в ньому вакууму: звичайного (до 5 мм рт. ст.), середнього або форвакуум (до 10 3 мм рт. ст.), глибокого (>